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氦检知识

氦气检漏仪应用于真空镀膜机检漏

文字:[大][中][小] 2022-5-7    浏览次数:110    
真空镀膜机检漏,在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号

示意图如下:


操作1   镀膜机检漏


操作2   镀膜机检漏

1),将氦质谱检漏仪 BW-930B连接到泵组前的检漏口上.
2),启动检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时启动镀膜设备的泵组.
3),在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号.
4),所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等等).处理完成后,再按照前叙步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程完成。


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