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氦质谱检漏仪

半导体电子封装密封性检测氦质谱检漏仪

文字:[大][中][小] 2020-1-5    浏览次数:2238    

一种电子产品封装外壳密封性检测装置,抽真空氦气检漏仪检测检漏设备


一、检漏仪原理

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示终气体,专门针对于有气密性要求的产品做密封性检测的质谱分析仪器。其基本原理是:采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,用磁偏转分离原理检出氦离子,通过测量氦离子流来确定漏孔大小及位置。


常用行业名词 

气体泄漏:在压强差存在的情况下所产生的气体定向移动。  

漏率:国际通用测量单位Pa·m3/s:表示单位时间内单位压差情况下通过某漏孔所泄露的气体量。


 

最小可检漏率:在理想工作条件下,以一个大气压的纯氦作为示漏气体,检漏仪能检出的最小漏孔。 

应时间:仪器检漏口喷氦致使漏率值上升到漏孔饱和泄露值的0.63倍时所需时间。 

氦本底:在喷氦检漏前,由于被检件和检漏仪中残余氦气不能及时清除,造成的本底信号。  

检漏口最大压强:检漏仪内检漏阀开启所允许的最大压强值。

1.2性能参数 

1.2.1基本参数 

额定电压 单相220V±10%

额定功率 1KW

真空连接 KF25 

环境温度 5-40℃ 

相对湿度 ≤80%

1.2.2 性能指标 

最小可检漏率 1.0×10-13 Pa·m3/s

检漏范围 1.0×10-13—1.0×10-3 Pa·m3/s

响应时间 ≤1s

开机时间 ≤3min

最大检漏口压强 1000Pa


二、系统介绍

氦质谱检漏仪的结构分为两部分:

A、质谱分析器及各管路通道的真空系统;

B、离子信号测量和操作控制的电子测量控制系统。

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